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RTP-小型快速退火炉

产品应用:该电炉采用红外灯管加热,通过滑动炉体实现快速降温。应用于半导体或太阳能电池基片退火。也可用于快速热退火、快速热氧化、快速热氮化、硅化物合金退火、电极合金化、氧化物生长、离子注入后退火、薄膜沉积等工艺试验 。

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    • Commodity name: RTP-小型快速退火炉
    • Commodity ID: 1034429748932861952

    产品应用:该电炉采用红外灯管加热,通过滑动炉体实现快速降温。应用于半导体或太阳能电池基片退火。也可用于快速热退火、快速热氧化、快速热氮化、硅化物合金退火、电极合金化、氧化物生长、离子注入后退火、薄膜沉积等工艺试验 。

    销售热线:15122725930  

     

    产品应用:

    该电炉采用红外灯管加热,通过滑动炉体实现快速降温。应用于半导体或太阳能电池基片退火。也可用于快速热退火、

    快速热氧化、快速热氮化、硅化物合金退火、电极合金化、氧化物生长、离子注入后退火、薄膜沉积等工艺试验

     

    产品特点:

    可在真空/气氛/空气等不同环境下通过快速移动炉体,加之强风冷设计,可对样品进行快速升降温处理;管内测温设计,

    温控精度高,最大升温速率50℃/s;紧凑的台式设计,快速连接法兰,减少了炉管因安装造成损坏的可能,方便操作。

     

    产品名称

    RTP-小型快速退火炉

    产品型号

    RTP-G11103-K

    额定功率

    9KW

    额定电压

    220AC 50/60Hz

    最高温度

    1000°C 

    连续工作

    950°C(<1 小时)

    加热区长度

    300mm

    恒温区长度

    100mm

    加热元件

    红外灯管

    温度控制

    国产程序控温系统可编程50段程序控温;

    控制精度

    ±1℃

    石英管尺寸

    Φ110*380MM

    炉管材质

    石英管

    滑动距离

    355mm

    滑动方式

    手动滑动

    建议升温速度

    室温900℃:30℃/sec
    900℃~1000℃: 10℃/sec

    外形尺寸

    950 X 350 X 530 mm 

    重量

    45Kg

    标准配置

    气路总成一套(含真空压力表)石英管一支、高温手套一副。76MM的样品石英架一个。

     

  • 详细技术方案请联系客服人员!

    销售热线:15122725930(微信)  

    邮   箱: CTJZH@CTJZH.COM
    网  址: WWW.CTJZH.COM

    联系地址: 天津北辰科技园区双川道11号

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