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1200℃预加热滑动双温区/多温区PECVD系统

产品应用:PECVD系统是借助射频使含有薄膜组成原子的气体电离,在局部形成等离子体,而等离子体化学活性很强,很容易发生反应,在基片上沉积出所期望的薄膜。

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预加热滑动双温区/多温区PECVD系统

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    • Commodity name: 1200℃预加热滑动双温区/多温区PECVD系统
    • Commodity ID: 1034429634549997568

    产品应用:PECVD系统是借助射频使含有薄膜组成原子的气体电离,在局部形成等离子体,而等离子体化学活性很强,很容易发生反应,在基片上沉积出所期望的薄膜。

    销售热线:15122725930 

     

    产品应用:

    PECVD系统是借助射频使含有薄膜组成原子的气体电离,在局部形成等离子体,而等离子体化学活性很强,很容易发生反应,在基片上沉积出所期望的薄膜。

    产品组成:

    PECVD系统配置:

    1.1200度开启式双温区真空管式炉

    2.滑动系统分为手动、电动滑动,并配置管内测温系统。

    3.预加热开启式管式电炉

    4.等离子射频电源

    5.多路质量流量控制系统

    6.真空系统(可选配中真空或高真空)  

    产品特点:

    生长温度低;沉积速率快;成膜质量好,适用范围广,设备简单。

    Key words:
    • 预加热滑动双温区/多温区PECVD系统
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    销售热线:15122725930(微信)  

    邮   箱: CTJZH@CTJZH.COM
    网  址: WWW.CTJZH.COM

    联系地址: 天津北辰科技园区双川道11号

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